「潤濕因子」的法律定義

1 部法規

行政半導體製造業空氣污染管制及排放標準 第2條

潤濕因子：洗滌循環水量／(填充物比表面積×洗滌塔填充段水平截面積)，單位為m2/hr。

同一個名詞在不同法規中的定義可能不同，請以實際適用的法規為準。

搜尋含「潤濕因子」的條文

相關名詞

半導體製造業積體電路晶圓封裝作業光阻劑光阻製程密閉排氣系統污染防制設備工廠總排放量洗滌循環水量填充物比表面積洗滌塔填充段水平截面積流量計每季有效監測率