「光阻製程」的法律定義

1 部法規

行政半導體製造業空氣污染管制及排放標準 第2條

光阻製程：指晶圓經過光組劑的塗佈、曝光、顯像，使晶圓上形成各類型電路的製程。

同一個名詞在不同法規中的定義可能不同，請以實際適用的法規為準。

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