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行政半導體製造業空氣污染管制及排放標準第2條 …指實施積體電路晶圓製造之選擇蝕刻時，所需耐酸性之感光劑。五、光阻製程：指晶圓經過光組劑的塗佈、曝光、顯像，使晶圓上形成各類型電路的製程。六、揮發性有機物(VolatileOrganicCompounds,VOCs)：係指…