本署受理前二條及第八條規定之申請，應進行審查，並作成准駁決定。
審查程序及規定如下：一、形式審查：本署應就申請文件內容進行書面完整性審查，並自收件日起十個工作日內完成審查。
二、實質審查：自完成形式審查後四十五個工作日內，本署得邀集相關領域學者專家及相關主管機關，進行實質審查及現場勘查。
本署於必要時，得延長形式、實質審查期限，各以一次為限。
申請文件經形式審查不合規定或內容有欠缺者，或實質審查內容資料須補正者，本署應通知限期補正。
各次補正日數不算入審查期限內，且總日數不得超過九十個工作日。
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