法院裁定程序監理人酬金，應斟酌職務內容、事件繁簡、程序久暫、勤勉程度、程序監理人執行律師、社會工作師或相關業務收費標準，每人每一審級於新臺幣五千元至十萬元額度內為之。
程序監理人依本法第十六條第二項規定，獨立上訴、抗告或為其他聲明不服所繳之裁判費，及經法院同意赴國外、大陸地區、香港或澳門執行職務之生活費與交通費，得另行請求增給酬金，並由法院視程序監理人執行職務及維護受監理人權益之必要，覈實酌給。
赴前項地區之生活費，依中央政府各機關派赴國外各地區、大陸地區、香港及澳門出差人員生活費日支數額表定之；交通費依國外出差旅費報支要點所定基礎等級（標準）座（艙）位費用定之。
第一項及第二項之酬金，包括程序監理人為該事件支出之必要費用在內。
程序監理人得於各該審級程序終結後，以書面釋明第一項及第二項之事由，向法院聲請裁定酌給及增給各項酬金。
但調解程序終結後未進入審理程序，或就調解程序中之暫時處分選任程序監理人，得分別於調解程序或暫時處分程序終結時聲請之。
法院為第一項及第二項裁定前，應予程序監理人、當事人及已知之利害關係人陳述意見之機會。