規劃評估階段之獎勵額度以新臺幣二百萬元為上限。
執行設置階段之獎勵額度以新臺幣一千萬元為上限，且須符合下列各款情形：
一、再生能源發電設備（或含儲能設備）之獎勵額度總和不得超過總設置經費之百分之五十。
二、儲能設備獎勵額度以每瓩時新臺幣一萬六千元為上限。
前項獲獎勵設置之再生能源發電設備所產生電力，其電能躉購費率計算公式之期初設置成本參數須扣除再生能源發電設備獎勵經費。