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第 6 / 6 頁- 行政半導體製造業空氣污染管制及排放標準 第2條 …內容，請詳閱完整條文檔案）本標準用詞及符號，定義如下：一、半導體製造業：指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製造等作業者。二、積體電路晶圓製造作業（WaferFabrication）：指將各種規格晶圓…
- 行政半導體製造業空氣污染管制及排放標準 第3條 …條文排版無法完整呈現內容，請詳閱完整條文檔案）本標準適用於半導體製造業。但半導體製造業原（物）料年用量小於下表所列者，該項物質不適用本標準之規定：
- 行政半導體製造業空氣污染管制及排放標準 第4條 （因條文排版無法完整呈現內容，請詳閱完整條文檔案）半導體製造業產生之空氣污染物應經密閉集氣系統收集，並應符合下表規定後始得排放：前項硝酸、鹽酸、磷酸、氫氟酸及硫酸等排放之廢氣，因安全之虞而無法證明符合前項標準時，應檢具相…
- 行政半導體製造業空氣污染管制及排放標準 第5條 …應設置流量計及濃度監測器，其設置規定如下：一、適用本標準之半導體製造業均應設置流量計。二、揮發性有機物原（物）料年用量大於二十五噸或工廠總排放量大於每小時零點六公斤者，屬既存製程其揮發性有機物排放大於十四ppm或屬新設製…
- 行政特殊性工業區緩衝地帶及空氣品質監測設施設置標準 第2條 …鹽酸、硝酸、氫氟酸）、鹼（如燒鹼、純鹼）之製造工業。十二、半導體製造工業：指從事積體電路晶圓製造、磊晶、光罩製造、導線架製造等作業之工業。十三、光電材料及元件製造業：指從事液晶面板製造及其相關材料、元件或產品製造之工業。…
- 行政特殊性工業區緩衝地帶及空氣品質監測設施設置標準 本條文有附件第9條 …料之電力業、樹脂、塑膠、橡膠製造工業、石油化學中間原料業、半導體製造工業或光電材料及元件製造業之一者，應監測懸浮微粒（PM10）中之鎳、砷、鎘、錳、鈹、鉛化合物及總懸浮微粒（TSP）中之六價鉻（Cr6+）。（三）容納之特…
- 行政放流水標準 本條文有附件第2條 …標準，其水質項目及限值之規定如下：一、事業（一）晶圓製造及半導體製造業適用附表一。（二）光電材料及元件製造業適用附表二。（三）石油化學業適用附表三。（四）化工業適用附表四。（五）金屬基本工業、金屬表面處理業、電鍍業和印刷…
- 行政水污染防治措施及檢測申報管理辦法 第49-9條 晶圓製造及半導體製造業、光電材料及元件製造業、印刷電路板製造業、電鍍業和金屬表面處理業符合下列情形之一者，其作業廢水應分流收集處理：一、中華民國一百零六年十二月二十七日前尚未完成工程招標。二、中華民國一百零六年十二月二十…
- 行政水污染防治措施及檢測申報管理辦法 第84條 …請免檢測申報該項目。工業區專用污水下水道系統或屬晶圓製造及半導體製造業、光電材料及元件製造業、印刷電路板製造業、石油化學業、化工業、造紙業之事業，核准許可廢（污）水排放量達每日二萬立方公尺以上者，應檢測申報放流水水質之生…