中科院置監事三人至五人，由本部就下列人員遴選推薦，提請行政院院長聘任之：
一、政府相關機關代表。
二、國防科技相關之學者、專家。
三、法律、會計或財務相關之學者、專家。
前項第一款之監事，行政院主計總處及本部主計局代表應至少各有一人。
監事應互選一人為常務監事。