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行政半導體製造業空氣污染管制及排放標準第2條 …、流量計：任何可直接或間接測得廢氣排放體積流量之設施。十六、每季有效監測率：(每季污染源操作小時數－每季污染源操作期間連續自動監測器失效小時數)／每季污染源操作小時數。