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行政半導體製造業空氣污染管制及排放標準第2條 …）料揮發性有機物成分百分比後之加總；其單位為公噸／年。十二、工廠總排放量：指同一廠場周界內每小時所有排放管道排放單一空氣污染物之總和；單位為kg／hr。十三、每季有效監測率：（每季污染源操作小時數-每季污染源操作期間流量…
行政半導體製造業空氣污染管制及排放標準第5條 …應設置流量計。二、揮發性有機物原（物）料年用量大於二十五噸或工廠總排放量大於每小時零點六公斤者，屬既存製程其揮發性有機物排放大於十四ppm或屬新設製程其揮發性有機物排放大於十ppm之排放管道，應設置揮發性有機物濃度監測器…