申請者應填具申請書，並檢附安全分析報告及財務保證說明，送主管機關審查並繳交審查費。
核子原料、核子燃料生產或貯存設施興建應實施環境影響評估者，申請者應於主管機關作成審查結論前，檢送環境保護主管機關認可之環境影響評估相關資料。