光電業使用含揮發性有機物、氫氟酸或鹽酸之原物料種類、含量百分比、購入量、使用量、輸出量等資料應每月記錄。
光電業應配合前項紀錄、監測及相關檢測作業結果計算全廠揮發性有機物、氫氟酸及鹽酸等空氣污染物之年排放量，於每年一月底前向地方主管機關申報前一年排放量。
第一項紀錄及第二項排放量資料應保存五年備查。