第5條動力用核子反應器設施建廠檢查費，自建廠執照核發之日起，迄運轉執照核發前一日止，每年每機組新臺幣一千五百萬元。但建廠執照有效期間，暫停建廠並僅維持已建設施之保存及維護作業者，每年每機組新臺幣五百萬元。前項收費按日曆年逐年收取，未滿一年者，依實際日數比例計算之。