廢氣燃燒塔之母火不可熄滅，且應使用獨立穩定之燃料系統。
使用蒸氣輔助燃燒型式之廢氣燃燒塔，其蒸氣量與廢氣量之重量比應介於百分之十五至百分之五十。
但因製程特性報經主管機關核可者，不在此限。
廢氣燃燒塔之設計及操作條件應符合下表之規定：┌────────┬─────────────────────┐│輔助燃燒型式│總淨熱值（HT）與排放速度限值（V）│├────────┼─────────────────────┤│蒸氣輔助燃燒型式│符合下列三者之一：│││（1）HT≧12MJ/Nm3，V＜17m/sec│││（2）HT＞40MJ/Nm3，17m/sec≦V＜114m/se│││（3）40MJ/Nm3≧HT≧12MJ/Nm3，│││V＜Vmax且V＜114m/sec│├────────┼─────────────────────┤│空氣輔助燃燒型式│HT≧12MJ/Nm3，V≦V’max│├────────┼─────────────────────┤│無輔助燃燒型式│符合下列三者之一：│││（1）HT≧8MJ/Nm3，V＜17m/sec│││（2）HT＞40MJ/Nm3，17m/sec≦V＜114m/sec│││（3）40MJ/Nm3≧HT≧8MJ/Nm3，│││V＜Vmax且V＜114m/sec│├────────┴─────────────────────┤│HT：導入之廢氣總淨熱值，計算公式如下：││HT=Σ1.8710-7CiHi；單位為MJ（百萬焦耳）／Nm3││Ci：導入之廢氣成分溼基排放濃度；單位為ppm。
││Hi：導入之廢氣成分在凱氏溫度二百七十三度、一大氣壓下、一克莫││耳淨燃燒熱值；單位為kcal/g-mole。
││V：導入之廢氣排氣流量（單位為Nm3/sec）除以廢氣燃燒塔頂端截││面積（單位為m2）所得之排放速度，單位為m/sec。
││Vmax：蒸氣輔助燃燒型式及無輔助燃燒型式廢氣燃燒塔之最大允許排││放速度，計算公式如下：││Log10（Vmax）=（HT+29.9）/34.0；單位為m/sec││V’max：空氣輔助燃燒型式廢氣燃燒塔之最大允許排放速度，計算公││式如下：││V’max：8.112+0.615（HT），單位為m/sec。
│└──────────────────────────────┘
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