公私場所進行廢氣燃燒塔監測設施之校正測試程序、查核程序、檢查程序及維護應符合附錄九規定，並依下列規定進行監測設施之例行校正測試、查核、檢查及維護作業，且應作成紀錄，保存六年備查：一、總還原硫與排放流率監測設施之零點偏移及全幅偏移測試，應每日及執行監測設施維護作業後進行一次；排放流率監測設施應每日同時執行高流速與低流速範圍零點偏移及全幅偏移測試。
但有下列情形之一時，公私場所得依下列規定辦理：（一）監測設施維護作業超過連續二十四小時者，維護期間不須執行每日零點偏移及全幅偏移測試。
（二）每日每次零點偏移偏移及全幅偏移測試連續一個月符合性能規格值者，向直轄市、縣（市）主管機關報備後，自次月起得調整偏移測試頻率為每二日一次，各量測項目應個別計算之。
（三）固定污染源停工者，向直轄市、縣（市）主管機關報備後，該期間不須執行每日零點偏移及全幅偏移測試。
二、具顯示總淨熱值之廢氣成分及濃度監測設施：（一）多點校正檢查應每季進行一次，且每次檢測與前次檢測應至少相隔十五日。
（二）中濃度偏移檢查應每月進行一次，且每次檢查與前次檢查應至少相隔七日，連續八次均符合性能規格者，向直轄市、縣（市）主管機關報備後，調整檢查頻率。
但不得低於每季進行一次。
三、總還原硫監測設施之標準氣體查核應每季進行一次，且每次檢測與前次檢測應至少相隔十五日。
四、依監測設施製造廠商提供之使用手冊進行維護，並對校正標準氣體及校正器材定期進行品保查核。
五、其他經中央主管機關規定之校正測試或查核。
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