第5條本法所稱放射性廢棄物處理設施，指具有下列系統之一，以改變放射性廢棄物核種濃度、體積、形態或其他物理、化學特性之廠房或場所：一、每日處理量達二十五公斤以上之焚化、熔融或高溫裂解系統。二、每日處理量達一公秉以上之液體放射性廢棄物處理系統。三、每日處理量達二百公斤以上之放射性廢棄物固化處理系統。四、每日處理量達一千公斤以上之固體放射性廢棄物壓縮處理系統。五、每日活度處理量達三百七十億貝克以上之放射性廢棄物處理系統。六、其他經主管機關指定之系統。