廢氣燃燒塔應設置下列監測設施：一、母火溫度量測器及監視器。
二、於導入廢氣之管線設置流量計及具顯示總淨熱值之廢氣成分及濃度監測設施，石油煉製製程應加設總硫濃度監測設施。
三、供應母火之獨立燃料系統流量計。
四、裝設水封槽設備者，設置顯示水封操作狀態之水封槽水位計或壓力計。
五、蒸氣輔助燃燒型式廢氣燃燒塔設置蒸氣流量計。
前項第一款母火溫度量測器及第二款監測設施應連線至地方主管機關，各監測設施每季有效監測時數應大於百分之九十五，且其監測設施校正及性能規範應符合附表一規定，第三款至第五款監測設施應每年校正一次。
公私場所申報中華民國九十九年所有廢氣燃燒塔處理廢氣流量總計低於五百萬立方公尺，且無第四條第二項第六款情形者，檢具相關證明文件，報經地方主管機關核准後，得免設置廢氣成分及濃度監測設施。
公私場所廢氣成分無法以連續自動監測設施監測者，報經地方主管機關核准後，該成分得免以連續自動監測設施監測。
前兩項免設置廢氣成分及濃度監測設施者，仍應自行或委託專業檢驗機構每六天檢測一次。
公私場所應於每年一月、四月、七月及十月之月底前，向地方主管機關申報前一季廢氣燃燒塔之操作時間、廢氣流量、排放速度、母火燃料氣流量、水封槽之水位或壓力、總淨熱值、廢氣成分及濃度、蒸氣流量及空氣污染物排放量計算結果資料。
第一項各款監測紀錄及其校正紀錄，除廢氣燃燒塔母火監視器紀錄應保存二星期備查外，應保存五年備查。
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