公私場所應完成設備元件建檔，並依下列規定進行設備元件洩漏檢查（測）：一、輕質液泵浦應每週目視檢查其軸封處是否有製程流體滴漏。
二、重質液設備元件應每週目視檢查或以嗅聞、聽覺等其他簡易方法檢漏。
三、發現前二款有洩漏跡象者，應於五日內進行檢測，以確認是否為洩漏源。
四、輕質液及氣體設備元件應每三個月檢測一次。
但符合下列規定之一者，不在此限：（一）設備元件裝設密閉集氣系統連通至鍋爐或加熱爐之爐膛火焰區或其他使削減率達百分之九十五之污染防制設備。
（二）輕質液泵浦、氣體壓縮機具止漏流體軸封系統，且該系統符合下列規定者：1.止漏流體之操作壓力恆大於軸封填料箱壓力。
2.裝設可監測止漏流體軸封系統異常或失效之警報裝置；未裝設警報裝置者，應每日檢查軸封系統並作成紀錄。
3.軸封系統之設計具備可將止漏流體吹排回製程流體或密閉集氣系統者。
五、無洩漏型式或屬於難以檢測之重質液設備元件應每四年檢查一次；無洩漏型式或屬於難以檢測之輕質液及氣體設備元件應每二年檢測一次。
六、輕質液及氣體設備元件應每三個月檢測一次。
但符合下列情形，並經地方主管機關核可者，得依下列規定變動檢測頻率。
但違反第二十九條規定者，應回復其原定之檢測頻率：（一）連續六個月洩漏比例均小於百分之○．三者，得每六個月檢測一次。
（二）連續一年洩漏比例均小於百分之○．一者，得每一年檢測一次。
七、氣體釋壓裝置設有密閉集氣系統連通至污染防制設備，且該污染防制設備符合第四款第一目之規定者，得免檢測。
公私場所應委託檢驗測定機構檢測前項第三款至第七款設備元件之洩漏。
公私場所依第一項第一款至第五款進行設備元件檢查（測）有困難者，應報經地方主管機關核可後，得以其他檢查（測）方式替代。
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