依前條規定收集至污染防制設備處理之廢氣，其流量計及空氣污染物濃度連續自動監測器設置規定如下：一、污染防制設備之廢氣導入處或排放口應設置流量計。
二、揮發性有機物年用量大於五○噸之工廠其揮發性有機物防制設備之廢氣排放口應設置濃度監測器。
三、揮發性有機物工廠總排放量大於等於○‧六kg/hr者，其揮發性有機物防制設備之廢氣導入處及排放口應設置濃度監測器。
四、流量計及濃度監測器之有效每季監測率應大於八○％，每年至少以標準檢測方法比測一次，比測時間每次至少二小時，所設置之流量計及濃度監測器所得之結果應以上次比測結果修正之。
未依前項規定設置流量計及污染物濃度監測器者，得提出其他可證明其排放污染物符合前條規定之替代監測方案，報請中央主管機關認可。
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