本標準適用於半導體製造業。
但原物料年用量小於下表所列者，該項物質不適用本標準之規定：┌──────┬────────┐│原物料│年用量│├──────┼────────┤│揮發性有機物│一七○○公斤／年│├──────┼────────┤│三氯乙烯│六○公斤／年│├──────┼────────┤│硝酸│一七○○公斤／年│├──────┼────────┤│硫酸│三○○公斤／年│├──────┼────────┤│鹽酸│一七○○公斤／年│├──────┼────────┤│磷酸│一七○○公斤／年│├──────┼────────┤│氫氟酸│一二○○公斤／年│└──────┴────────┘
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