法規條文

法規名稱： 半導體製造業空氣污染管制及排放標準

法規類別： 行政 >> 行政院環境保護署 >> 空氣品質保護目

法規章節： 第3條

法規名稱：半導體製造業空氣污染管制及排放標準，法規類別：行政，法規章節：第3條，法規內容：第3條本標準適用於半導體製造業。但原物料年用量小於下表所列者，該項物質不適用本標準之規定：┌──────┬────────┐│原物料│年用量│├──────┼────────┤│揮發性有機物│一七○○公斤／年│├──────┼────────┤│三氯乙烯│六○公斤／年│├──────┼────────┤│硝酸│一七○○公斤／年│├──────┼────────┤│硫酸│三○○公斤／年│├──────┼────────┤│鹽酸│一七○○公斤／年│├──────┼────────┤│磷酸│一七○○公斤／年│├──────┼────────┤│氫氟酸│一二○○公斤／年│└──────┴────────┘